技术编号:5285077
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种膜厚测量装置,该装置包括机械手移动机构、电缸、电缸连接板、测膜厚机械手连接板、膜厚探头、探头安装板、定位导向轴,其中定位导向轴通过轴承配件和电缸一起固定在机械手移动机构上,电缸连接板安装在电缸下部,探头安装板通过测膜厚机械手连接板与电缸连接板连接,膜厚探头安装在探头安装板中央,对置下方物料盘。本实用新型采用机械移动手配合上下电缸带动测膜厚机械手连接板的运动,从而能够提升带动探头安装板在待检测的工件上方按预定方位移动,通过膜厚探头检测工件的膜的厚度。专利...
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