技术编号：5286018

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本发明涉及从使用后的铟-锌氧化物(IZO)溅射靶或制造时产生的IZO边角料等 IZO废料(本说明书中将这些材料统称为“ΙΖ0废料”)中回收有价值金属的方法。另外，本 说明书中记载的“回收有价值金属”包含以有价值金属作为构成元素的氧化物、氢氧化物等 化合物。背景技术近年来，铟-锌氧化物(In2O3-ZnO ；—般称为ΙΖ0)溅射靶广泛应用于液晶显示装 置的透明导电薄膜等，多数情况下使用溅射法薄膜形成手段在衬底等上形成薄膜。该溅射法薄膜形成手段是优良的方法，但...
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