技术编号:5288828
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及熔融盐浴、制备所述熔融盐浴的方法和钨膜。 背景技术为了通过电铸或涂布衬底制造金属产物,常规地,通过电解在浴中沉积金属。特别地,期望能够将通过电解沉积金属的技术应用于制造用于微机电系统(MEMS)的微型金属 产物或这类微型金属产物的涂层。MEMS为能够制造小型、多功能、节能的微型金属产物的技 术,且在各种领域如信息通讯、医疗、生物技术和汽车领域受到关注。钨是耐热性和机械强度优良的金属,因此,由钨制造的或用钨涂布的微型金属产 物能够展示高的耐热性和耐...
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