技术编号:5290121
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。所属本发明涉及一种用电化学技术对基底进行处理的方法,特别涉及一种用电化学技术对基底进行修整(modify)的方法。背景技术许多装置需要在其表面形成某种材料的特定图案,半导体芯片就是一个显然的例子。最近出现的DNA芯片也具有一个低核苷酸阵列,该阵列附在一固体表面[G.拉姆齐(G.Ramsay),《自然生物技术》,1998,卷.16,40~44]。此类装置的性能取决于表面材料的图案和性质。此外,改进现有的装置一方面是出于小型化的需求,另一方面是对集合化学、物理...
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