技术编号:5292059
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微细电化学加工领域,具体涉及一种微细电铸方法,还涉及实施该方 法的装置。背景技术金属微结构与零件常常是微型机电系统、微机械与高技术产品的核心,直接影响 甚至决定着其依托产品的服役性能。微细加工技术是上述微结构与零件得以实现的基础与 前提。基于电化学沉积原理的微细电铸技术因具有高复制精度、高重复精度、宽材料选择范 围、低工艺操作温度等工艺优势,成为金属微细制造领域的主要支撑技术之一。比如,半导 体产品生产中的印制线路板布铜线、连通孔金属化、复杂形状...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。