技术编号:5293179
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制造光盘模版用的薄膜,薄膜在摹制好的抗蚀材料表面上形成,作用电铸模版材料的电极,本发明还涉及一种制造光盘模版、用作这类电极的电极材料。象CD(音响光盘)和DVD(数字影像光盘)之类的光盘是用叫做模版的光盘原盘大批生产出来的。图8A至8F示出一般生产模版的方法。先是如图8A中所示,用旋涂法之类方法在玻璃衬底101上形成光致抗蚀膜102,然后如图8B中所示,用激光束照射光致抗蚀膜102从而形成潜像102a。接着,通过光致抗蚀膜102的显影形成如图...
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