技术编号:5293379
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,其用于清洁构成真空处理装置的金属制部件的表面。背景技术 构成真空容器等真空处理装置的不锈钢部件,进行焊接、机械加工等,形成真空容器的形状后,为了除去在加工过程中附着的润滑剂或手的油脂成分等要进行表面处理。近年来真空装置大型化,由于对构成大型化的真空装置的部件整体进行一次处理变得困难,本发明人在特愿2004-219001中提出了部分电解处理。即使是这样的部分电解处理,为了除去用于处理的药液也需要用纯水等洗涤。在部分电解处理的过程中,在表面上称...
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