技术编号：5293422

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本发明涉及将通过例如溅射蒸镀等形成在基材上的导电性金属氧化物薄膜以 能够再利用的状态除去的方法以及实施该方法的装置。背景技术例如，形成了ITO(作为铟和锡的氧化物，具有透明导电性的膜)的高性能玻璃 基板的光学性能(透射率等)和机械性能(平坦度等)良好，例如被用于平板显示器。 但是，由于该高性能玻璃基板的价格高，因此形成于其表面的ITO不满足品质管 理标准时，除去该ITO后再利用，从而试图降低成本。作为除去该ITO等导电性金属氧化物薄膜的方法，有通过机械摩擦...
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• 匙老师：多酸团簇、金属有机框架材料的合成性能研究与计算模拟，主要包括： 1.多酸团簇-无机晶核共组装进行光催化分解水制氢与二氧化碳还原； 2.低维多孔材料的结构与催化性能的研究。
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• 焦老师：新能源材料设计、合成及应用研究。主要包括：1二氧化碳电催化还原、电催化分解水制氢等；2原子界面电极材料的制备及能量转换技术研究。
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• 孙老师：1. 仿生分离技术的开发 2. 光化学 3. 仿生催化体系的设计及作用机理研究 4. 仿生材料的设计、合成及应用研究