技术编号：5422961
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及组成真空泵的螺纹槽排气部的筒形固定部件以及使用该部件的真空 泵，尤其是能够维持真空泵对于真空泵内转子毁坏时产生的扭矩(以下称为“毁坏扭矩”) 的强度，并且降低其成本，同时容易在螺纹槽排气部的筒形固定部件上制作螺纹槽，这种螺 纹槽在螺纹槽排气部的旋转部件的旋转轴心方向上的宽度、深度变化量以及导程角等会发 生变化，形状复杂，通过采用这种螺纹槽，能够提升真空泵整体的排气性能和压缩性能。背景技术随着近年来半导体制造装置上的晶片的大直径化，要求在该装置上使...
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