技术编号：5424373
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微流体传输与控制领域应用的微小精密压电泵，具体涉及一种自感知压电隔膜泵。背景技术作为压电驱动器的一个重要分支，压电隔膜泵以其结构简单、体积小、反应快、无电磁干扰、易于操作、流量/压力可控性好等诸多优势，在医疗、化学分析、航空航天、汽车发动机及燃料电池的燃料供给、微机电液系统等方面都有广泛的应用前景，其研制开发备受世界各国学者的广泛关注。为满足不同领域的应用需求，人们提出了多种结构形式的压电隔膜泵。尽管所提出的压电隔膜泵结构形式及性能差异较大，但都...
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