技术编号：5425094
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及信号控制及检测领域，特别涉及一种多风扇状态检测方法及装置。背景技术在光刻机系统中，有众多的极其重要的板卡是安装在各分系统机箱内，它们对于 光刻机系统来说其重要性不言而喻，但机箱是封闭的，因而板卡在上电工作时产生的大量 热量就无法及时的散去，这就可能导致板卡不能正常工作，甚至烧毁，基于以上可能出现的 风险，就需要在机箱内安装风扇，加强空气流通，对板卡进行风冷，以降低机箱内的温度。根据机箱的可安装风扇空间的大小以及所含板卡的数量和产热量不同，对空气的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。