技术编号：5425848
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空泵，具体的说是一种罗茨真空泵。背景技术罗茨真空泵由罗茨鼓风机演变而来，包括高真空多级罗茨泵、中真空罗茨增压泵和直排大气的干式罗茨泵，广泛用于化工、造纸、冶金、薄膜制备、食品等行业，也是IC装备行业中常用的一种真空泵。国内罗茨真空泵的研究和制造较早，但适合于IC装备行业严格要求的罗茨干泵并不多见，致使该设备长期依赖进口。气冷式罗茨干泵满足了 IC装备行业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求，是很有发展前景的一种干式低...
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