一种涡旋真空泵排气口结构的制作方法技术资料下载

技术编号:5425849

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本发明属于真空泵领域,具体地说是一种涡旋真空泵排气口结构。背景技术目前,国内对无油真空环境要求越来越多,半导体、LED等行业迅速发展,涡旋真空泵作为一种无油真空泵也得到迅速发展。现有涡旋真空泵在排气时噪音较大,排气口密封差,已无法满足行业迅速发展的要求。发明内容为了解决排气噪音大、排气口密封效果差的问题,本发明的目的在于提供一种涡旋真空泵排气口结构。该涡旋真空泵排气口结构排气噪音低,气流脉动冲击小,密封效果好。本发明的目的是通过以下技术方案来实现的本发明包...
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