技术编号：5425850
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空领域的真空泵，具体地说是一种磁力驱动螺杆真空泵。背景技术螺杆真空泵由于具有优越的性能，在微电子、制药、精密加工、造纸、包装等行业有着广泛的应用，尤其是在半导体加工生产线上有很多独特的挑战。近年来，随着螺杆真空泵在石油、化工行业的应用，暴露出了一些问题，传统轴封不能保证其输送介质的完全密封，必然存在着一定量的介质泄漏，这样对于输送有毒、有害的介质就会存在安全隐患，情况严重时会危及操作者的生命。基于以上情况，需要一种相对零泄漏的螺杆真空泵，这对于...
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