技术编号：5428092
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池片生产用装置，尤其涉及一种抽石英腔体里废气的真空泵。背景技术在太阳能电池片生产过程中，经过磷扩散的硅片，不仅在硅片的表面形成了 PN 结，并且硅片的四周边缘也形成了 PN结，四周边缘的PN结会造成电池的短路，通过等离子刻蚀可以将四周边缘的N型层去除掉。该工序利用真空泵对放置硅片的石英腔体进行抽真空，保证石英腔体的压力在100PA左右，使石英腔体里的废气通过真空泵不停地排出腔外。在完成刻蚀后利用真空泵抽离石英腔里的废气，其中废气的主要...
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