技术编号：5429226
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种磁悬浮泵。 背景技术目前，在半导体生产车间内，磁悬浮泵在化学机械研磨的研磨液的供应中的应用越来越广泛，特别是65纳米以下的制程。请参阅图1，图1所示是现有的用于向研磨装置供应研磨液的磁悬浮泵的结构示意图。现有的磁悬浮泵包括马达11和研磨液腔体12，所述研磨液腔体12内设有叶轮13 和转子磁铁14，所述叶轮13设于所述转子磁铁14的外周侧，所述马达11带动所述转子磁铁14转动，所述转子磁铁14带动所述叶轮13转动。所述研磨液腔体12还设有研...
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