一种压电叠堆泵的制作方法技术资料下载

技术编号:5436405

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本发明涉及一种压电泵,尤其涉及一种有阀式压电叠堆泵。背景技术压电泵的研究始于20世纪80年代,它是基于压电驱动原理设计制造的流体泵。压电泵不需要附加驱动电机,而是利用压电材料的逆压电效应,给压电叠堆施加交流电信号,使压电叠堆产生伸缩,再由伸缩变形产生泵腔容积的变化,配合进出口单向阀控制流体方向,从而实现流体输送。由于传统的压电泵多为压电双晶片形式,此类形式的压电泵的优点是结构简单,体积小,重量轻,耗能低,无电磁干扰且成本低,而被广泛应用到制药,医疗,微量试...
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