一种能实现双向流动的超声流微泵的制作方法技术资料下载

技术编号:5438085

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本发明涉及一种微泵,特别涉及一种能实现双向流动的超声流微泵。背景技术微泵是微流体系统的关键执行部件,应用十分广泛。在试验和医疗方面,微泵可用于DNA检测分析以及药物在人体内的传输;航空航天领域,微泵可用于微型航空航天器及微型探测器的燃料供给;在微电子领域,微泵可用与微电子液体冷却系统冷却液的输送;在化工领域,微泵可用于化工用品的输送以及贵重药物的精确配置。有阀微泵通常采用机械部件实现整流,整流效果较好,但是存在可动部件磨损和疲劳破坏,小型化和使用寿命受到限...
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