高速悬臂多级透平真空泵的制作方法技术资料下载

技术编号:5440784

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本实用新型专利涉及一种真空泵,尤其涉及一种高速悬臂多级透平真空泵。背景技术目前现有技术中随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其抽气量与真空度范围的要求越来越宽,大多需要由真空泵和其它设备组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,因此,选用由不同类型真空泵组成的真空抽气系统进行抽气的情况较多,目前使用的有旋片式真空泵、罗茨真空泵和水环真空泵等容积式真空泵,主要应用于电力、化工、轻工、矿山、医药、电子、航天、科研等部门。旋片式真空泵是一种...
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