一种深冷抽气真空泵的制作方法技术资料下载

技术编号:5441809

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本实用新型属于高真空,具体涉及ー种深冷抽气真空泵。背景技术真空泵广泛用于塑料机械、农药化工、染料化工、砖瓦机械、低温设备、造纸机械、医药化工、食品机械、真空设备等领域,常用真空泵有机械式真空泵和制冷式真空两大类.机械式真空泵多为活塞式真空泵、旋片式真空泵水、环式真空泵、罗茨真空泵等几种,这类产品普遍存在极限真空度较低,无法实现洁净无五油高真空的应用,而且抽气速率较低,仅限于粗抽真空的应用.制冷真空泵目前应用较多的是注入式液氦低温泵,主要由液氦容器、泵体和连...
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