技术编号：5442326
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种微泵，特别是一种有阀精密微泵。背景技术微流体系统作为微机电系统的一个主要方向，它能精确检测和控制流量，在药物微量输送、燃料微量喷射、细胞分离、集成电子元件冷却以及微量化学分析等方面有着重要的应用前景。作为该系统核心部分的微泵、微阀成为近年来国内外学者的研究热点。目前研究较多的是薄膜压缩型微泵，它的流量控制是通过驱动膜的往复运动引起 泵腔体的体积及压力变化而实现的，驱动膜的驱动方式有压电、静电、电磁、热气功、双金属效应等。压电、静电、电磁属...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。