技术编号：5442705
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种包括真空泵机构和用于驱动该机构的马达的系统。 背景技术至此，公知的真空泵系统包括真空泵机构和用于驱动该机构的马达。可连接该泵 系统以从用于处理晶片(例如，半导体晶片)的处理系统中排出流体，该处理系统包括处理 室和传输室。这种真空泵系统的状况会在该系统的操作期间恶化，且需要维修活动来修 复、修理或维修该系统的状况。例如，过滤器可被粒子堵塞而需要更换。之前，自该系统交 付客户或自上次维修活动执行以来根据逝去时间安排这种维修活动。例如，可在交付之后...
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