技术编号：5445584
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种通过改变缸体容积排除气体以获得粗(低)真空的装置，具体地说是一种不以油为工作介质亦无须油润滑的旋片直联干式全无油真空泵。本实用新型所述的产品适合于在电子、医疗、印刷及超净半导体工业领域的吸附、提升、固定硅片等工艺装备中配套使用，特别适合于在小型台式或立式胶印机以及其它的一些现代办公设备中配套使用。过去用于上述各领域的真空泵一般多为老式的以油为工作介质的机械泵、或不以油为工作介质但需靠油润滑的无油泵以及靠皮带传动的非直联式无油泵。机械泵的最...
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