技术编号：5449230
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及带有级间阀的多级机械高真空泵。每一个该真空泵至少带有一个级间阀。该级间阀的功能是控制从泵的一个级(高真空级)向该泵的下一级(低真空级)的排气。按本发明制造的真空泵所能达到的真空度远比同样工作体积的传统多级机械真空泵所能达到的真空度高许多。另外，排出气体和润滑/密封油，从低真空级向高真空级的回流也被极大地减少。真空系统被广泛地应用于工业和科学领域。例如冶金；机械；电子；化学；航天和原子能工业等，特别是半导体材料的制造也与高真空技术密不可分。真空技术...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。