技术编号：5450446
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微小流体传输与控制、微电子机械系统领域应用的泵，具体涉及一种多腔压电薄膜驱动泵。背景技术 压电薄膜泵是继压电超声马达之后又一种振动能量转换装置，它将压电薄膜激发的振动直接作用于流体形成压力或流量输出，具有完全不同于各类传统泵的工作原理和特征结构。作为压电驱动器的一个重要分支，压电薄膜泵以其结构简单、体积小、反应快、无电磁干扰、易于操作等诸多优点，有着广泛的应用前景在制药、医疗、微量试剂配比或压力、流量精确控制领域都可应用，其研制开发备受世界各国学...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。