无阀压电叠堆泵的制作方法技术资料下载

技术编号:5450468

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本发明涉及一种压电叠堆激励的摆动振子无阀压电叠堆泵,尤其涉及一种采用变 截面振子的压电叠堆泵。背景技术根据泵阀的有无将压电泵分为有阀压电泵和无阀压电泵。有阀压电泵的工作原理 可简要叙述为,压电振子的往复振动引起泵腔容积的周期性变化,而容积的变化又引起泵 腔内压力的变化,控制着泵阀的开启和关闭。由于传统有阀压电泵压电振子的振幅很小,限 制了泵的流量和所能承受的背压。中国专利申请CN101608611A提出了一种利用压电叠堆 驱动的大流量有阀压电泵,但这种压电...
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