技术编号：5450571
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种薄膜压缩型微泵，尤其涉及一种采用形状记忆合金/硅双层驱动膜结构的微泵，属于微流体传输与控制、微机械。微流量系统能精确检测和控制每分钟微升量级的流量，在药物微量输送、燃料微量喷射、细胞分离、集成电子元件冷却以及微量化学分析等方面有着重要的应用前景，作为该系统核心部分的微泵，目前较多的是薄膜型压缩微泵。它的流量的控制是通过驱动膜的往复运动引起泵腔体的体积变化而实现的。驱动膜的驱动原理有压电、静电、电磁、热气动、热流动、双金属效应和形状记忆效应驱动...
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