技术编号：5451435
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及诸如半导体制造过程中所用的干燥真空泵以及泵的制造方法，特别是涉及用于这种泵的转子及其制造方法。现有背景技术 一种干燥真空泵中包含一对具有渐开线或摆线突起部形状的转子。所述转子在一个泵罩中旋转，而通过各突起部相互紧密相连，从而抽吸流体。在各突起部之间具有100μm左右的间隙，以避免使用润滑剂。许多传统转子均由实心材料制成。有多种方法用于制造这种实心转子，其中包括将突起部与轴整体铸造；或铸造带有插入实心轴的突起部；或通过键将突起部固定在一个轴上...
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