技术编号：5451768
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的压电泵属微电子机械领域中的微型泵。背景技术压电泵是一种新型流体驱动器，它不需要附加驱动电机，而是利用压电材料的逆压电效应使压电振子产生变形，再由变形产生泵腔容积变化，从而实现流体输出或者利用压电振子产生波动来传输液体。由于压电泵具有传统泵所不具备的特点，如能将传统泵的驱动源部分、传动部分及泵体三者合为一体，因而具有结构简单、体积小、重量轻、耗能低、无噪声、无电磁干扰，可根据施加电压或频率控制输出微小流量等等，尽管它的发明与发展仅20多年的历史，但在...
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