一种自测量压电叠堆泵的制作方法技术资料下载

技术编号:5453714

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本发明属于微流体传输控制领域应用的压电泵,具体涉及一种自测量压电叠堆栗。背景技术压电泵具有结构简单、体积小、反应迅速、无电磁干扰、易于操作、流量及压力可控性好等诸多优势,在医疗、化学分析、汽车发动机及燃料电池的燃料供给、微机电液系统等方面都有广泛的应用前景,因此其研制开发备受世界各国学者的广泛关注。为满足不同领域的应用需求,人们提出了多种形式结构的压电泵。虽然所提出的压电泵结构形式和性能差异较大,但都是利用压电振子在电场作用下产生的弯曲或伸缩变形实现流体驱...
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