技术编号：5456050
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。双层一体内置式深冷泵本发明涉及一种双层一体内置式深冷泵设计，属于低温和真空技术中的深冷泵领 域。背景技术大型空间环境模拟器要求在数百、数千立方米的试验舱中达到真空度< 10_3Pa 的高真空要求，在试验舱内进行航天器试验时，航天器通常释放出大量的试验气体，为保证 模拟试验的可靠性和准确性，须配备百万升每秒以上抽速的抽真空系统来保证试验舱内的 动态真空度，航天器的放气量越大所需的抽气能力越强。外置式抽真空泵或泵组通常不能 保证如此大的抽气能力，而且航天...
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