技术编号：5457297
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空泵，特别是一种直排大气的多级罗茨真空泵。 背景技术IC装备行业是国家发展战略的重要行业。在IC装备行业中，70%的工作需 要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行，例如化学气相沉积、离子注入、蒸发、 溅射、外延生长、刻蚀、封装、检测等。在每一条IC生产线中，都要应用大量获 得与维持清洁真空环境的干式真空获得设备。以一条月产2.5万片8英寸晶圆片 的中档工艺IC生产线为例，通常需用各种干式真空泵上千台，投资占设备投资的 20%左右。作为IC装备的关...
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