技术编号：5457696
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。根据本发明相应范畴内的独立权利要求的前序部分，本发明涉及旋转泵，带这种旋转泵的液体动力混合器，并且还涉及用于悬浮液处理的旋转泵的用途。背景技术 在许多工业工艺中，例如在半导体和芯片的制造中，需要以受控的方式混合悬浮液，以便将其通过喷嘴或相似的装置分配出去。作为一个重要的示例，在半导体工业中使用例如化学机械抛光工艺(CMP，即化学机械研磨)。在诸如这些工艺中，将通常由非常细微的固体材料粒子和液体制成的通常称为浆液的悬浮液施加在旋转的晶片上，并在那里用于进行非...
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