技术编号：5458005
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种干式真空泵，特别涉及一种具有罗茨转子和螺旋转子 的复合干式真空泵。背景技术目前的干式真空泵包括至少一个设有叶片(lobe)的罗茨转子(root rotor)和至少 一个螺旋转子(screw rotor), 以便保持过程室(process chamber)中的完全真空状态并降低能耗成本。罗茨转子与过程室连接，用来 吸取和压缩包括过程室中产生的气体物质在内的过程副产物(process by-products)。螺旋转子用来将罗茨转子吸入的气体和过...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。