用于分子泵的涡轮叶片的制作方法技术资料下载

技术编号:5458074

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本发明涉及一种与流体相关的机械装置,尤其是指一种真空泵的部件,更为具体地讲,本发明是一种用于分子泵的涡轮叶片,在国际专利分类表中,本发明应分为F部。背景技术 在以机械运动的各类真空泵中,分子泵是一种结构精密、工艺要求高的泵。泵叶片的几何形状与抽速和强度有很大的关系。目前,就分子泵叶片的种类基本分为扭制和铣制二类。与铣制叶片相比,在相同直径、角度和速度的条件下,扭制叶片缺少几何变量,而且扇形叶面根部的强度较差。整体铣制叶片受加工刀具的限制也很难选择最佳的几何...
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