技术编号：5458975
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微流体机械，具体涉及一种实现具有多通道主动精确控制能力的微 流体泵。背景技术随着微机械电子科学的迅猛发展，在化学分析与检测、药物释放、生物工程、集成电路 芯片、微型零部件、微型化生产系统(微型工厂)以及芯片实验室(Lab-on-Chip)等领域， 急需输送微小流量且精度高的流体输送装置。为此各国学者已提出并研究了多种结构形式的 流体泵。在研究过程中，关注的重点在于如何提高泵的流量控制精度和实现极低的流量控制。 对于如何从多个流体源获取流体和如何将...
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