技术编号：5459148
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空系统领域，具体而体，涉及真空系统的差动泵浦(differential pumping )。背景技术常规涡轮分子泵(例如，由United Kingdom, West Sussex, Crawley的 BOC Edwards公司("Edwards")以及USA, NH的Pfeiffer Vacuum公司 ("Pfeiffer")制造的涡轮分子泵)具有单一的高真空入口，该入口位于 转子叠片顶部，设计为用于抽空单一真空区域。一些涡轮分子泵还具有级间端...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。