技术编号：5459988
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空，特别涉及一种旋涡式真空泵。 背景技术近年来，人们已研制了多种类型的干泵，广泛应用于半导体工业、分析仪器和电子工业 等真空应用的各个领域。现有的直排大气干泵根据机械结构形式的不同，可以大致把干式真 空泵分为罗茨式、罗茨+爪式、螺杆式、涡旋式等。罗茨式以及罗茨+爪式组合式结构使得 气体通路长而复杂，导致冷凝物的堆积和被化学气体腐蚀的可能性大大增加。由于都是多级 设计，级与级之间又多采用密封，使得零部件较多，泄漏点较多，从而使得维修工作比较麻 烦...
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