技术编号：5463139
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空，特别涉及一种大抽速型高真空干式真空泵。 背景技术近年来，人们已研制了多种类型的干泵，广泛用于半导体工业、分析仪器、电子工业和 化工行业等真空应用的各个领域。干泵或干泵机组维护简单、清洁无油，经常是真空获得设 备中首选的主泵。比如，半导体行业中的真空室中， 一般需要达到l(^Pa或者更高的真空度， 这时就需要为它们配置高真空机组。一般说来，为了获得清洁高真空，人们通常会选用高真空泵，如分子泵、扩散泵+冷阱， 但这些高真空泵只能够工作在中真...
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