技术编号：5463886
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及涡轮式分子泵。 背景技术已知一种涡轮式分子泵，其具有在壳体中高速旋转的转子，具有防止由转子的破 损产生的能量传递到转子外面的壳体的装置(例如，参见专利文献1)。在专利文献1中公 开的涡轮式分子泵设置有位于外壳体内部的双内壳体。专利文献1 日本专利特许公开No. 2001-82379 (尤其是图2)发明内容本发明要解决的技术问题然而，在上述专利文献1中公开的涡轮式分子泵具有双内壳体，每个内壳体都支 撑在同一法兰表面上，使得难以在没有任何不平坦条件下...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。