技术编号：5463888
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种涡轮分子泵。 背景技术涡轮分子泵使用结合转子和定子的涡轮叶片进行操作，以通过抽空而产生真空。 涡轮叶片绕旋转轴呈放射状地形成，使得周向速度在叶片的基部与叶片的尖端部之间不 同。鉴于此，对设计进行优化，使得在叶片基部与叶片尖端之间的中间点处由叶片角和叶片 间距限定的性能实现目标性能。然而，如果涡轮叶片如先前那样被构造成平坦板，则在位于比中间点更远的点处， 开口率的增加变得比周向速度的增加大。与中间点处的效果相比，这提高了反流效果。而 破坏了最佳...
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