技术编号：5465032
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种气体净化装置，包括密封鼓风源（100），其具有具有从外部被隔开的内部空间的密封壳体（101）、经由气体流入口（104）将惰性气体从外部导入内部空间的开放放出部（105）、冷却该密封壳体（101）的内部空间的冷却管（103）、收纳于该密封壳体（101）的内部并将被冷却管（101）冷却的惰性气体送出的涡流鼓风机（102）、将来自涡流鼓风机（102）的惰性气体经由送气部（106）向外部供给的气体流出口（107）。通过在该密封鼓风源（100）的上游侧...
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