磁性轴承装置及真空泵的制作方法技术资料下载

技术编号:5466512

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本发明是关于一种磁性轴承装置及真空泵,可实现磁性轴承控制中的移位信息的信噪比提升。磁性轴承装置包括正弦波离散值生成部,生成正弦波离散值;数模转换器,对正弦波离散值进行数模转换而生成载波信号;传感器,根据转子轴的支撑位置来对载波信号进行调制并输出调制波信号;模数转换器,以满足fc=(n+1/2)·fs(n为0以上的整数)的取样频率(fs),且以与正弦波离散值同步的规定时序(最大波峰位置附近及最小波峰位置附近),对调制波信号进行模数转换;及解调运算部,基于最大...
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