一种回旋式真空扩散泵的制作方法技术资料下载

技术编号:5466623

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本发明涉及真空泵领域,特指一种回旋式真空扩散泵。该扩散泵采用了多级、每级多条片状高速蒸汽流以回旋式运动的方法来实现对空气的牵引与压缩,从而获得真空度。此外,蒸发油腔呈锥形,通过设计不同油腔分层的大小,在使油蒸汽于喷射口处获得较大的喷射速度的同时使外层的轻馏分获得比内层的重馏分更大的流速;不同级别的喷嘴的回旋速度从上往下呈现速度梯度,使得气体不断被挤压至泵体底层,通过机械泵排除;喷嘴之间采用行星齿轮机构传动,并由电机驱动,从上至下呈现速度梯度;采用纺锤形泵体...
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