技术编号：5466822
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种真空镀膜机抽气系统低温水汽捕集器的配置结构，所述的抽气系统包括真空镀膜机的镀室抽气口及外接的高真空抽气管道（9），高真空抽气管道（9）中设有高真空阀（10），其特征是所述的高真空抽气管道（9）中设有深冷井（7），深冷井（7）设在镀室抽气口至高真空抽气管道中的高真空阀（10）之间，用深冷井阀(8)与高真空抽气管道（9）隔离，低温水汽捕集器设在深冷井（7）内。本实用新型为节能的、能获得高洁净真空的、更合理的真空镀膜机抽气系统低温水汽捕集器的配置结构。专利说...
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