技术编号：5467140
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种反馈控制技术，特别是关于一种风机-过滤机组风量反馈控制方法与装置，可应用在半导体制造工厂的无尘车间的风机-过滤机组(Fan Filter Unit)上，用以控制该风机-过滤机组恒定地保持在一预设的固定送风量。背景技术 风机-过滤机组(Fan Filter Unit)为半导体制造工厂的无尘车间(clean room)常采用的一种除尘装置，通常是安装在无尘车间的天花板，产生一由上往下的气流吹除室内的灰尘颗粒，提供一洁净、无尘的工作环境。图1即显...
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