技术编号：5472794
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种能够高速排出非冷凝性气体的低温泵、低温板结构及真空排气方法。本发明的低温泵（1）具备吸附低温板（2），具备接收非冷凝性气体的入射的前表面（4）和具备非冷凝性气体的吸附区域的背面（5）；以及反射低温板（3），具备与背面（5）对置的非冷凝性气体的反射面（7）。吸附低温板（2）可以具有多个从前表面（4）贯穿至背面（5）的贯穿孔（6）。吸附低温板（2）可以具有10%以上70%以下的非冷凝性气体的通过概率。专利说明[0001]本申请主张基于2013年5...
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