感应加热的汽泡驱动微泵的制作方法技术资料下载

技术编号:5472870

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感应加热的汽泡驱动微泵,属于微流控系统领域。泵体由微流控上芯片(1)、加热盘(7)、玻璃基底(8)与励磁线圈(11)组成;流控上芯片(1)的结构由进液口(2)、微流道I(3)、微腔体(4)、微流道II(5)与出液口(6)组成;微泵利用微腔体(4)内的液体由感应电涡流进行加热,使其部分发生汽化,生成汽泡,由汽泡膨胀变大瞬间而产生的压力脉冲来驱动,可以实现对微量液体泵送的功能。本发明微泵内部无活动构件,减少了污染来源与机械故障,同时,具有大流量输出且可控的特点...
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