技术编号：5473349
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种可测转子表面温度的牵引式分子泵，包括外壳，在外壳内部设置有转子，在外壳内部设置有第一级分子泵，与第一级分子泵过盈连接的第三级分子泵，第三级分子泵和端面法兰连接，第二级分子泵安装在第三级分子泵的装配槽中。红外探头的测温导线依次通过第三级分子泵线槽、端面法兰线槽与端面测温装置相连。径向测温装置的测量端穿过外壳、靠近第一级分子泵的外壁。本发明的第二级分子泵和第三级分子泵的可拆装结构，可以保证在分子泵正常运行的情况下，调试和安装端面测温装置，径向测...
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