一种动阀式压电泵的制作方法技术资料下载

技术编号:5473445

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本发明涉及一种动阀式压电泵,包括泵体和端盖,其特点在于还包括布置有单向阀的压电式集成振子,其中泵体内部有空腔结构,其中同向布置有至少两个集成振子,形成至少一个密封的泵腔;所述集成振子由具有通孔的双晶片压电振子外部布置弹性表层构成,所述弹性表层第一侧与通孔对应位置布置有阀口凸台,另一侧布置有阀口沉孔,在阀口凸台上布置有一单向阀开口;工作时,集成振子在交变电压作用下发生往复的弯曲变形,配合单向阀开口的打开和关闭形成泵送流体的能力,采用这种特殊单向阀开口结构与压...
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